Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems)

Abstract

Tóm tắt kết quả nghiên cứu: − Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học − Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit − Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever − Thực hiện các bước để sản xuất ra microcantilever − Kiểm tra đánh giá các microcantilever thu được để hoàn thiện chu trình sản xuất.