Please use this identifier to cite or link to this item: http://data.ute.udn.vn:8080/jspui/handle/123456789/414
Title: Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems)
Authors: Phạm, Thị Thảo Khương
Keywords: Nghiên cứu khoa học
Khoa Điện - Điện tử
Issue Date: Feb-2023
Abstract: Tóm tắt kết quả nghiên cứu: − Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học − Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit − Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever − Thực hiện các bước để sản xuất ra microcantilever − Kiểm tra đánh giá các microcantilever thu được để hoàn thiện chu trình sản xuất.
URI: http://data.ute.udn.vn:8080/jspui/handle/123456789/414
Appears in Collections:Đề tài NCKH cá bộ năm 2022

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
T2022-06-16_PhamThiThaoKhuong_baocaotonghop.pdf
  Restricted Access
2.45 MBAdobe PDFView/Open Request a copy


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.